在大尺寸蓝宝石衬底上制备周期性图形

摘要

本文介绍了 LED芯片的大尺寸蓝宝石衬底的周期性图形的制备方法，同时把该方法应用到 LED芯片的制备上而获得的 LED，其内量子效率、光析出率等性能都得到了大大的提高。