SnO₂:Nb复合薄膜的制备及光电性能研究

摘要

采用溶胶–凝胶法制备SnO2:Nb复合溶胶,使用旋涂法将其镀于普通玻璃片上,经干燥、热处理制得均匀的SnO2:Nb复合薄膜,其它条件不变,探究不同Nb掺杂量、热处理温度对样品薄膜结构、形貌以及光学、电学性质的影响。采用XRD、XPS、SEM等技术手段对所制得的薄膜进行表征。结果表明:煅烧温度为500℃时,SnO2:Nb薄膜微粒的结晶度较高,粒径小,膜层分布均匀;用紫外–可见分光光度计和四探针电阻仪对其进行光学、电学性能测试,UV-Vis光谱表明,SnO2:Nb薄膜在近紫外光区吸光度有明显的增加,但随着Nb5+掺杂量的增加,薄膜吸光度呈现下降的趋势;电导率测试结果表明:Nb5+掺杂量为8% (物质的量)时,SnO2:Nb复合薄膜的导电性最好。