用于高分辨率领域的线性角编码器

摘要

在超精密测量和控制技术中,越来越要求测量步长达1nm,角分辨达0.001角秒。为达到如此高的分辨率,测量标准需有很小的栅格周期,只有用干涉方法才能扫描到它。本文通过一个信号周期为128nm、分辨率为1nm的线性角编码器,介绍了不同扫描原理的各种结果。