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智能型纳米级超精密抛光机的研究

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研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机,用于超精密平面抛光.文中介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实现,加工结果表明,该型抛光机可将加工余量去除误差控制在1 nm以下,并获得表面粗糙度小于0.2 nm的平面.

著录项

来源
《纳米科技》 |2004年第3期|32-37|共6页
作者
赵萍; 袁巨龙;
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作者单位

浙江工业大学职教学院,浙江,杭州,310014;

浙江工业大学机电学院,浙江,杭州,310014;

杭州智邦纳米技术有限公司,浙江,杭州,310014;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类服装工业、制鞋工业 ;
关键词
抛光 ; 修正环; 专家数据库 ; 纳米 ; 智能;

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