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基于SEM-EDS的清洁度检测技术研究

             

摘要

清洁度是影响产品质量的重要指标之一,为了对影响清洁度的杂质颗粒进行分级统计、成分分析以保证其可溯源性,研究了基于扫描电子显微镜和能量色散谱仪(SEM-EDS)的清洁度检测技术,结合试验对检测过程和参数选择进行优化,并对结果进行了分析.

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