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微全分析系统中的MEMS技术

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摘要

微全分析系统(μTAS)的研究和应用,近年来有了巨大发展.本文将着重叙述基于MEMS技术的μTAS的研究和发展,扼要介绍设计、制造μTAS的一些新技术、新材料和新方法,以及我们在研制μTAS方面的一些进展.

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来源
《现代科学仪器》 |2001年第4期|29-33|共5页
作者
崔大付;
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作者单位

中国科学院电子学研究所;

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正文语种 chi
中图分类分析化学;微电子学、集成电路（IC）;
关键词
微全分析系统; 微电子机械系统; 生物芯片;

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