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能在高温下测量的SOI型压力传感器

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能在高温下测量的ＳＯＩ型压力传感器长谷裕二等１．开发过程当前半导体压力传感器大多用于油压、气压等的压力测量，它的特点是灵敏度高、精度高以及应用半导体制造工艺能够大量地低成本地生产，因此广泛用于汽车发动机控制、空调及吸尘器等家用电器以及医疗设备等各个领...

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来源
《中国检验检测》 |1994年第2期|47-48|共3页
作者
载风;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类压力仪表;
关键词
高温; 测量; 压力; 传感器;

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