MEMS SOI-based sensors sensors for harsh environment sensors for high temperature;
机译:先进的无液,压阻,基于SOI的压力传感器,用于恶劣环境下的测量
机译:基于MEMS的恶劣环境压阻压力传感器的灵敏度优化
机译:用于苛刻环境应用的多晶硅 - 绝缘体(PolysoI)和基于SOI的微压阻压力传感器的制造与表征
机译:基于SOI的无液压阻SOI压力传感器,适用于高达400°C的高温测量
机译:TDLAS诊断仪的开发,用于现场恶劣环境的水蒸气温度,浓度和压力测量
机译:用于低压测量的压阻压力传感器的机械结构设计:通过传感器灵敏度的提高进行的计算分析
机译:先进的无液体压阻式sOI压力传感器,适用于恶劣环境下的测量
机译:微结构蓝宝石光纤传感器,用于在恶劣环境中同时测量高t和动态气压。