双平板剪切干涉仪及其干涉图的数值分析

摘要

一种用于光学器件及光学成像系统波面象差及像质检验的横向剪切干涉仪及其干涉图的数值分析方法。在平行平板横向剪切干涉原理的基础上 ,分析讨论了改进后的双平板剪切干涉仪的工作方式及优越性。在对其干涉图的数值分析方面 ,利用Zernike圆正交多项式作为基底函数 ,对被测光学系统的剪切干涉图进行波面的二维最小二乘拟合 ,以期重构原始波面 ,得到被测光学系统的波面象差函数 ,进而求得系统的光学传递函数 (OTF)。对一组标准镜头进行的测试分析表明测量的不确定度 <0 0 5。