三平板剪切干涉仪自动测试系统

摘要

三平板剪切干涉仪是环路剪仪中最简单的一种，它具有基本等光程、剪切量连续可调、两出身光束恒相互平等等特点。利用三平板剪切干涉仪对激光器出射波面质量进行检测，探讨了由剪切干涉图复原原始波面的1阶微分法，编制了专家辅助软件系统，为光机型的三科板剪切干涉仪配置了实时图像采集、处理系统、实现了光、机、电、算相结合，融硬、软件于一体的数字波面剪切干涉仪，并通过实验验证了方法的重复性精度。