阴极电弧源镀制TiO_2薄膜的研究

摘要

在真空条件下利用阴极电弧源在不同基底材料上镀制TiO_2薄膜。对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强、偏压和电流等因素进行研究。经X射线结构分析结果显示TiO_2薄膜主要以锐钛矿结构为主及少量的金红石结构。对TiO_2薄膜的化学性质、力学性质进行了初步检测。