光干涉法显微镜测量三维表面形貌研究

摘要

本文介绍了利用光干涉法显微测量三维表面形貌。利用计算机我干涉法显微镜下拍摄的零件表面轮廓条纹图象识别与处理，自动寻找条纹和计算，直接获得三维表面轮廓形貌。测量结果与触针式轮仪的测量结果进行了比较。