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等离子体对材料表面改性作用研究

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摘要

概述等离子体应用于材料表面改性的基本原理以及等离子体表面改性的几种方式,主要有离子注入、等离子体物理气相沉积、等离子增强化学气相沉积.

著录项

来源
《现代商贸工业》|2014年第23期|192|共1页
作者
王曼星;
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作者单位

成都理工大学,四川乐山614000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类一般工业技术;
关键词
等离子体; 表面改性; 离子注入;
入库时间 2022-08-18 08:24:26

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