基于三帧差法算法的空间洁净度测定设备开发

摘要

液晶模组生产过程中，异物侵入性不良占绝大比例。所以，生产场所的洁净度、温湿度、气流速度和分布等都有相当高的要求。但当前市售尘埃粒子计数器对空气中微粒计数，常是微米级别。大于100微米的粒子常常不能精确计数，然而造成液晶模组发生不良的粒子直径，通常都在100微米以上，为毫米级别异物。针对以上问题，使用机器视觉的检测方式，提出一种可以对毫米级别异物进行计数和尺寸测量的设备设计方案。