扫描电镜低加速电压在样品分析中的应用研究

摘要

根据"在低加速电压下,电子束在样品中产生的扩散区小"的原理,对各类样品做了一些实验性的研究工作,结果发现:在7.5kV加速电压下,对导电性差的样品做形貌分析时,避免了在20kV加速电压下样品的充、放电现象,提高了图像的分辨率,可改善图像质量;对几微米的细小颗粒做定性分析时,克服了在20kV加速电压下分析区域之外所含元素的X射线的干扰,易于得出正确结论;在高倍下做元素的线扫描、面分布时,由于扩散区小,所得的特征X射线像边界清晰、视觉效果好.