扫描电镜低加速电压成像技术

摘要

随着纳米技术的发展,扫描电镜低加速电压下的成像技术日益引起人们的重视。本文介绍了扫描电镜低加速电压下高分辨率成像技术的原理及方法,在纳米材料和薄膜材料研究中的应用。