电子束曝光机电定位控制系统脱机连调初探

摘要

本文介绍了在电子束曝光机中,电定位系统脱离电子束曝光机进行单独调试的一种方法,同时给出一组数学表达式和实验数据。这种方法采用通用仪器和设备,简便有效。