电子束图图形分割程序FDEB

摘要

电子束图形分割程序FDEB将CAD系统产生的原始图形分割成不相交的几种基本图形,以适应电子束曝光机制作细线条IC版的需要。本文介绍了图形分割的主要算法以及场划分和曝光路径优化的方法。