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LaB6阴极在电子束曝光机中的应用研究

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本文报告了LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用特性,叙述了一些有重要意义的实验结果。

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来源
《微细加工技术》 |1992年第3期|15-20|共6页
作者
周开宇; 庄炳河;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光刻、掩膜 ;
关键词
曝光机 ; 电子束光刻 ; LaB阴极; 应用;

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