MOD法制备SnO2气敏薄膜

摘要

本文采用金属有机物热分解(MOD)法制备SnO_2薄膜,探索了锑掺杂对薄膜电阻的调制,通过I—V特性发现Al/SnO_2系统存在零电压电位,最后还测试了薄膜的气敏特性。