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微细EDM技术加工微齿轮的研究

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本文通过用微细电火花（ＥＤＭ）方法加工模数为０．０６的微齿轮研究，阐述了微细ＥＤＭ方法加工微齿轮的原理、方法和关键技术。

著录项

来源
《微细加工技术》 |1998年第2期|73-78|共6页
作者
陈文元; 丁涛;
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作者单位

上海交通大学信息存储研究中心;

上海交通大学信息存储研究中心;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类制造工艺;
关键词
微细加工; 微齿轮; IC; 制造工艺; 微细EDM加工;

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