PMMA在LIGA技术中的应用

摘要

合成了用于LIGA微细加工技术的聚甲基丙烯酸甲酯抗蚀剂,采用同步辐射装置X射线深度曝光,可得到深宽比45～90,深度大于450微米,细线宽5～10微米的良好光刻图形.