CVD金刚石薄膜的抗腐蚀性研究

摘要

用微波等离子体化学气相沉积法在硅衬底上生长了金刚石薄膜;通过扫描电子显微镜和喇曼散射光谱对其性质进行了表征.将生成的样品分别放在氢氧化钾,四乙基氢氧化铵以及氢氟酸、硝酸和冰醋酸混合液中进行腐蚀研究,结果发现在氢氧化钾腐蚀液中,金刚石薄膜出现片状脱落现象,而在后两种腐蚀液中却表现出良好的抗腐蚀性.