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磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究

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介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作.初步的实验表明该方案是行之有效的.

著录项

来源
《微细加工技术》|2004年第1期|68-72|共5页
作者
吴校生; 陈文元; 赵小林; 张卫平; 何淼;
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作者单位

上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类其他器件;
关键词
磁悬浮; 微陀螺; 微细加工; 线圈; 转子;

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