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吴振宇; 杨银堂; 汪家友;
西安电子科技大学,微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071;
a-C:F; 薄膜性能; 化学气相沉积; 化学组分;
机译:非晶氢化碳膜:氮和氟的掺入对膜微结构和力学性能的影响:综述
机译:将氟掺入通过等离子体化学气相沉积法沉积的非晶氢化碳膜中:通过X射线光电子能谱和拉曼光谱研究的结构修饰
机译:PEFCV沉积的硬质非晶氢化碳膜中的氟掺入
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:前驱体C2H2分数对磁控溅射沉积制备的含Si和Ag的非晶碳复合膜的组织和性能的影响
机译:来自非晶碳和非晶氢化碳膜的光吸收和电子自旋共振研究的π能带和能隙状态
机译:甲烷等离子体制备氢化非晶碳膜的光学特性
机译:在可改善沉积非晶碳膜的匹配性能的凸起特征上沉积高度共形的非晶碳膜的方法
机译:制备具有通孔的非晶氢化碳化硅膜的方法和由此获得的膜
机译:晶型I晶型I,晶型I和晶型II的混合物,晶型I的制备方法,晶型II的制备方法,晶型I的混合物的制备方法是Ma I和II型,用于对抗昆虫,螨虫,真菌和细菌的组合物。用于对抗昆虫,螨虫,真菌和细菌的方法,保护农作物免受有害生物侵害的方法,制备iridinamina化合物的方法,纯化方法一种化合物,用于制备和纯化3-氯-N-(3-氯-5-三氟甲基-2-哌啶子),-t RI的方法。氟-2,6-二硝基甲苯胺(氟济南)及其制备方法
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