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史慧超; 樊尚春;
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院;
压力传感器; 谐振式硅微机械; 昆虫振动感受器; 孔缝结构;
机译:具有交叉型谐振器的微谐振压力传感器的自由振动
机译:微谐振压力传感器的多场耦合混沌振动
机译:超敏感压力传感器使用双级跑马硅微谐振器
机译:基于螺旋式火灾的昆虫谐振低速气流微传感器研究
机译:坚固的微机械电容式压力传感器,适用于机械恶劣的环境。
机译:高阶模振动的电容硅纳米机械谐振器的设计与制作
机译:基于Q因子测量的高分辨率大动态范围谐振式压力传感器
机译:基于线性谐振的微谐振器中硅微谐振器的实时光电流监测和闭环控制调整
机译:基于微谐振器的线性吸收的实时光电流监测和闭环控制硅微谐振器的调整
机译:用作微镜装置的微机械部件,具有微振动装置,该微振动装置在表面上沿着相对于旋转轴的两个方向延伸,并且通过基板上的悬架部件基于一个方向连接到两个相对的端部。
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