平晶在检定千分尺测量面平面度和平行度中的应用及探讨

摘要

本文结合光波干涉法测量原理,对平晶在检定千分尺测量面平面度和平行度中的应用及方法进行探讨,包括判定规则、计算方法、检定步骤等,使检定工作具有可操作性和高效性,从而保证科研生产过程的产品质量。