在平面度地形图中修正标准平晶平面度的测量方法

摘要

本发明涉及平晶测量领域，具体涉及一种在平面度地形图中修正标准平晶平面度的测量方法，用于在卧式干涉仪中对平晶组进行多点测量，平晶组包括四块以上平晶，每个平晶沿中心点均匀划分为N个待测截面，每个待测截面上选取除中心点外的M个测量点，按以下步骤进行测量：步骤S1，取平晶组中的任意两块平晶分别标记为平晶A和平晶B，将平晶A和平晶B放置于卧式干涉仪上，且工作面相对放置，将平晶A上的N个待测截面中离中心点最远的测量点按顺时针方向进行编号。……步骤S6，在平晶组多块块平晶分别取得各截面直线度平均结果和各截面端点的共面度平均值后，将各截面直线度偏差叠加在共面度的相应点上，即可得到每块平晶的多截面平面度偏差。