抗高过载加速度计微结构的设计与分析

摘要

介绍一种抗高过载加速度计的结构,对其惯性结构、过载保护结构及气体阻尼结构进行了详细分析,其中惯性结构采用有较好过振保护的双端固支梁,其截面设计成一种具有应力集中特点的凹形截面.用有限元分析对微结构进行模拟计算,并通过试验验证.验证结果表明,该加速度计在经过20000gn冲击后,在±50gn的量程内非线性达到1%,灵敏度达到1mV/g.