ICP-AES法测定工业硅中10种杂质元素

摘要

研究了利用ICP发射光谱仪测定工业硅中Fe,Al,Ca,P,Ti,Cu,Zn,Mg,Mn,Ni等10种元素的方法,确定了各元素的检出限,回收率在94%～105%之间,RSD小于3.5%,该方法用于样品测定,结果满意.