硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响

摘要

通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomena pro-gram)程序模拟了工业8 in单晶硅提拉法生长过程.数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性,提拉速率的振荡周期大约为2 min.尖形磁场的引入能够抑制坩埚中熔体流动的振荡,减小提拉速率的振幅,从而有利于提高所生长单晶的质量.