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高温MEMS剪应力传感器残余应力分析

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摘要

采用理论分析与数值模拟相结合的方法,研究了残余应力对静电反馈式MEMS高温剪应力传感器的结构设计的影响.研究表明:在电极宽度和间距不变的情况下,增加电极数和减小电极长度可有效地减小由静电力引起的应力和变形;残余应力对结构应力和变形的影响远大于静电力.

著录项

来源
《力学与实践》 |2010年第1期|60-63|共4页
作者
纪科星; 宋宏伟; 范学军;
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作者单位

中国科学院力学研究所;

北京;

100190;

中国科学院力学研究所;

北京;

100190;

中国科学院力学研究所;

北京;

100190;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
MEMS; 剪应力传感器; 残余应力; 有限元;

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