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SPM三维纳米级微定位的研究

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介绍了一种三维纳米级微定位系统．该系统可用于各种扫描探针显微镜（SPM）探针和样品的微定位，探针可在样品表面10mm×10mm区域内定位，重复定位精度小于100nm，在高度方向，探针可顺利地进入样品表面100nm区域内．

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来源
《机械工程师》 |1999年第3期|44|共1页
作者
范细秋;
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正文语种 chi
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