纳米级微驱动定位技术的应用

摘要

纳米级微驱动定位技术的应用凌宁（中国科学院光电技术研究所）微电子加工、检测和光纤通讯等的对准都要求有纳米级的定位精度，而自适应光学、激光技术和光学精密跟踪等还需要有高的响应速度和带宽，压电微驱动精密定位技术在国外七十年代已发展起来并形成商品，我国在八...