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250全自动划片机关键技术分析与维护维修

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摘要

划片是电子器件封装工艺中重要的工艺之一,是将一整片晶圆切割成独立的个体,芯片切割的质量直接影响着封装质量和器件性能.现结合多年的划片设备管理与维修经验,对日本东京精密250全自动划片机设备的工作原理、结构、维护和维修作简单介绍.

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来源
《机电信息》 |2016年第12期|112-113|共2页
作者
尹超; 李双江;
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作者单位

中国电子科技集团第24研究所,重庆 400060;

中国电子科技集团第24研究所,重庆 400060;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
全自动划片机; 空气静压电主轴; 维护; 维修;

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