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一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法

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针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法.该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广.

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来源
《计量技术》 |2005年第11期|27-29|共3页
作者
刘剑霜; 谢锋; 胡刚; 陈一; 盛克平;
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作者单位

扬州大学物理科学与技术学院,扬州,225002;

复旦大学国家微分析中心,上海,200433;

复旦大学国家微分析中心,上海,200433;

复旦大学国家微分析中心,上海,200433;

复旦大学国家微分析中心,上海,200433;

上海市计量测试技术研究所,上海,200233;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类生物科学的研究方法与技术;
关键词
透射电子显微镜; 放大倍率; 校准;

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