高温质量流量传感器技术研究

摘要

介绍了一种适合气态和液态流体的新型热敏电阻式流量传感器,采用了陶瓷、Al2O3、金属铂和不锈钢等高温材料,运用了溅射镀膜、激光调阻、玻璃烧结、钎焊等工艺技术,克服了毛细管上绕漆包线的传统工艺所带来的一系列问题,具有不老化、漂移小、寿命长、适用于高温流体和高温环境等优点.