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电阻式湿度传感器制作工艺的革新

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介绍一种制作电阻式湿度传感器的革新工艺,使电阻值减小,电极间隙仅10μm,能检测狭小空间的湿度,具有长期稳定性,易于实现小型化.

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来源
《计量技术》 |2007年第7期|77-78|共2页
作者
王亚峰; 杨清风;
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作者单位

安徽立达信息技术研究所,合肥,230061;

安徽立达信息技术研究所,合肥,230061;

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正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
多晶硅; 氮化硅; 光刻技术; 湿敏层; 漏阻; 耐水性;

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