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干涉式量块比较仪的机器视觉自动化定标

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摘要

根据等厚干涉光强分布规律,从频域的角度介绍了干涉式量块比较仪的定标方法.用CCD采集单色光等厚干涉图像,计算机对图像作傅立叶变换并提取主频信息,通过简单运算完成比较仪的自动化定标.根据定标结果,成功开发出量块比较仪机器视觉自动化读数系统,该系统示值误差δ=0.024μm.

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来源
《计量科学与技术》 |2010年第11期|41-43|共3页
作者
方强; 汤昌社;
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作者单位

广东省计量科学研究院;

广东省计量科学研究院;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
量块比较仪; 等厚干涉; 定标; 机器视觉;

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