集成电路测试系统时间参数测试能力比对

摘要

本文结合集成电路测试系统时间参数测试能力比对,对比对过程中所采用的标准和测试方法、被测件的制备及其稳定性考核、比对实施方案的制定、比对结果的评价方法等关键内容进行了详细描述,为集成电路测试系统时间参数的量值溯源提供了一种有效的方法。