光腔衰荡光谱法测定高纯气中的痕量甲烷

摘要

采用质量流量控制器分别控制氮中甲烷标准气体以及被测高纯氮气的流量,通过设计不同的流量稀释比例,获得了不同"甲烷加标浓度"水平的氮气样品.测量结果表明,光腔衰荡光谱仪(CRDS)在0~3nmol/mol范围内对甲烷呈良好线性响应.通过标准加入法,测得高纯氮气中甲烷含量为0.3nmol/mol,扩展不确定度为0.2nmol/mol.