一种基于光腔衰荡光谱技术检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统

摘要

一种基于光腔衰荡光谱技术检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统，包括依次在光轴上设置的DBF激光器，光学调制器，第一凸镜，小孔和第二凸镜；还包括两个设置于第二凸镜后端的第一、二矩形棱镜，第一矩形棱镜的后端还依次设置有第一滤波片，第一光腔，第一探测装置，第二矩形棱镜的后端还依次设置有第二滤波片，第二光腔，第二探测装置，第一探测装置和第二探测装置分别连接数据采集处理器，系统结构简单，且测量精度高。