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微机械薄膜应力的在线测试结构

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摘要

微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响,因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的.介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法,详细分析了各种方法的特点.对于MEMS薄膜应力测试结构设计有一定的参考价值.

著录项

来源
《测控技术》 |2002年第7期|6-9|共4页
作者
刘祖韬; 黄庆安; 姜岩峰;
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作者单位

东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,江苏南京,210096;

东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,江苏南京,210096;

东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,江苏南京,210096;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.07;
关键词
在线; 应力; 微结构; 薄膜; 测量;

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