ZnO薄膜结构表征的研究现状

摘要

ZnO薄膜是继CaN材料之后的另一种具有应用前景的直接宽带隙半导体材料。针对目前对ZnO薄膜结构的分析，综述了ZnO薄膜结构表征的常用方法，着重分析了XRD在ZnO薄膜结构方面的应用。