不同退火温度下ZnO薄膜结构及光学特性的表征

摘要

采用溶胶凝胶(sol-gel)法.在普通栽玻片上成功制备znO薄膜,对于不同退火温度样品采用X射线衍射仅(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见分光光度计(UVS)及光致荧光光谱(PL)对样品的结构、形貌和光学特性进行表征.XRD谱表明在300℃、400℃、500℃退火处理的样品都有较好的c轴择优取向,而且随着退火温度的升高择优取向明显改善.透射谱中能现察到明显的ZnO吸收边.用AFM观察到的样品表面形貌表明.退火温度提高使样品表面更加平整,同时粒径变大.PL谱中在380nm附近可观察到明显发光峰.