类金刚石碳膜的结合性能评估和本征硬度测量

摘要

采用压痕试验法在超显微硬度仪上对不同基体材料上类金刚石碳膜的结合性能进行了评估，并对类金刚石碳膜的本征硬度进行了测量。结果表明，临界载荷Ｐｃｒ，抗裂性指标ｄＰ／ｄＸ是评估膜基结合性能的两个有用参数，可用来评定膜基结合性能。硅基体上类金刚石碳膜的硬度达２７ＧＰａ，硬质合金基体上类金刚石碳膜的硬度达２０ＧＰａ。