钛合金表面磁控溅射制备羟基磷灰石/氧化钇稳定氧化锆复合涂层

摘要

采用磁控溅射法在Ti6Al4V基体上制备了HA/YSZ复合涂层.用X射线衍射仪、扫描电镜、原子力显微镜和划痕法对涂层进行了表征.结果表明:用磁控溅射法可在Ti6Al4V基体上成功制备HA/YSZ复合涂层,涂层主要含有HA、ZrO2和Y2O3物相,此外还有少量的TCP和CaO相;涂层表面呈多孔状,有利于类骨组织的长入,表面显微粗糙度约为140 nm,涂层厚度约为4μm;划痕法测量涂层与基体的附着力约为80 N.