精密超精密主轴转台套类零件高精高效磨削工艺

摘要

套类零件是精密超精密主轴、转台关键共性零件之一,其精度是影响主轴和转台部件性能的重要因素.分析了精密超精密主轴、转台套类零件结构特征、技术特性、加工难点,以及基于卧式内、外圆磨削加工中所存在的问题;设计了基于立式磨削的加工工艺技术路线,实现最小工序转运及基准转换误差累积;对基于立式磨削工艺中工件装卡、前序质量控制、工艺参数选择与优化等关键问题进行了论述;基于立式磨削工艺技术路线,完成了大量典型高精度套类零件磨削,稳定实现了磨削圆度≤1μm、同轴度≤2 μm和垂直度≤2 μm磨削效果,精密超精密主轴、转台套类零件磨削精度及磨削效率得到有效提升.