自动光学检测机在彩膜面板Mask Common检测中的应用研究

摘要

彩色滤光膜(CF)作为薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的重要组成部分,其面板质量的高低对用户的观看体验有着决定性影响.简述了自动光学检测机(AOI)在彩膜面板微观共通缺陷(Mask Common)检测、识别、判断和继承等功能中的重要应用.通过缺陷检测阈值的设定与优化实现Mask Common 100％拦截,通过加强设备报警与生产的联动监测,降低彩膜面板的良率损失,提高彩膜面板在下游工序的直通率.