TFT-LCD行业彩膜工艺新型在线检测机的探究

摘要

目前,TFT行业8.5代线工厂中,CF基板微观缺陷的在线检出主要依靠AOI设备.AOI设备的原理:通过数量巨大的Line CCD对基板进行拍照,然后AOI PC通过生成的灰度图像依据5点法对基板各点的灰阶值进行对比,检出微观缺陷,并对缺陷进行判级.目前的AOI设备由于五点比对法的限制只能检测基板的微观缺陷,宏观缺陷的在线检出主要依靠Mura设备,Mura设备主要依靠CCD生成精度较低灰度图像由OP人眼进行检测,这种宏观检测方法自动化低,依靠人眼,准确率的稳定性也很难保证.文章提出一种同时具有宏观缺陷检出能力的AOI设备,核心是以AOI五点比对法为基础,对其进行算法上的优化和添加,并在硬件上添加数据处理PC,使得AOI同时具有准确检出宏观缺陷的能力,在刨除Mura设备的情况下,使得宏观检测结果自动化程度高,结果准确,并且不影响Tact Time.